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無錫ag手机版机關于集成電路無塵ag手机版机分析
更新時間:2015.03.09   來源:無錫ag手机版机凈化設備有限公司   瀏覽次數:

集成電路工藝生產技術具有一定的特殊性,集成電路對生產環境,例如:空氣潔凈度、溫度、濕度都有嚴格的要求,這直接關系到生產出來的產品質量和使用壽命,必須嚴格控制在要求范圍之內.在凈化工程設計中,無錫ag手机版机凈化設備有限公司均利用室內空氣的循環來保持生產區域內的潔凈等級,空氣在嚴格控制溫度、濕度的前提下,經過空調初效過濾器、中效過濾器及風機過濾單元頂面送風之后進入無塵ag手机版机內,而室內的空氣則經回風系統技術夾層離開無塵ag手机版机,再經空調過濾器過濾之后重新回到無塵ag手机版机.在集成電路無塵凈化項目中,無塵系統采用新風集中處理機組+風機過濾單元+干式冷盤管的方式,其空氣處理過程為,循環風經設置在一層的干式冷卻盤管冷卻后,進入上部送風靜壓箱,與處理后的新風混合,經FFU加壓,過濾后送入生產區。與此同時,由于無塵ag手机版机內必然會有風量損失,因此也需要補充一部分室外新風。其中處理機組的主要作用是提供無塵ag手机版机需求的新風,控制無塵ag手机版机的濕度,同時通過變頻調節來維持無塵ag手机版机的正壓環境,干式冷盤管主要承擔無塵ag手机版机的熱負荷,而FFU則過濾循環空氣來滿足無塵ag手机版机的潔凈度,這種方式與傳統的循環送風方式相比有明顯的優勢,FFU具有靈活性,可適應工藝變化,當工藝發展需要提高空氣潔凈度級別時,增加FFU數量來更換更高效率的過濾器就可達到提高潔凈度等級的目的,FFU采用負壓密封使其簡化而可靠,也就是說,潔凈區內的空氣壓力大于送風靜太箱內的空氣壓力,這就極大地降低了塵埃微粒通過縫隙進入無塵ag手机版机的幾率,此外,采取這種方式也可大大節省空調機房的面積。

由于集成電路芯片制造工藝的特殊性,在芯片生產的過程中,會產生各種廢氣,其中,酸堿廢氣來源于硅片清洗,爐管清洗,濕法刻蝕,工藝尾氣來自離子注入,干法刻蝕,有機廢氣來自光刻、去膠、顯影等工序,在工程設計中,應針對排放氣體的不同性質分別處理。為補償工藝排風和保持室內正壓以及滿足工作人員的新風需要,潔凈區需送入一定量的新風,新風機組采用變頻風機,通過室內正壓值控制風機的變頻器,調節新風風量,新風管道的布置,盡可能地將新風均勻送入無塵ag手机版机,并且在工藝設備發熱較大的地方提供更多的新風,以減輕干式冷盤管的負擔。

無塵ag手机版机空調系統的設計是一個復雜的過程,以上的描述僅僅是對整個系統作一個簡單的概述,而實際上還需要大量的計算來保證以上實施的有效性,除了圍護結構,人員,照明的負荷計算外,還需要進行復雜的工藝設備冷熱負荷計算、風量平衡計算以及大量的水力平衡計算來確保整個系統的均勻、平衡、合理,集成電路廠房的無塵ag手机版机能源消耗大,投資大,如何在滿足工藝要求的前提下,采用更合理的方案,更先進的技術來實現節約能源,減少工程造價,是我們無錫ag手机版机今后設計中所面臨的方向,也符合國家節能減排的政策要求。

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