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光學微電子行業無塵車間空氣參數要求
更新時間:2018.06.19   來源:   瀏覽次數:

對于常規電子廠房潔凈室空調的設計,應根據電子廠房的生產工藝要求及甲方的經濟條件來選用哪種空調設計方案,以滿足生產工藝的要求作為前提。那么光學微電子行業無塵車間空氣參數要求您知道嘛?跟小編一起來看看吧。

 

 

(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。

 

(2)新風量大。由于這類車間內,人員比較多,可以根據以下數值應取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。

 

(3)送風量大。為了滿足潔凈室內的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數,是≥15次/h)。

本文共分 1

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